隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對高效過濾器要求越來越嚴(yán), 德國標(biāo)準(zhǔn)DIN24183率先提出
"容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡稱MPPS)法, 并采用容易穿
透粒徑來檢測空氣過濾器的效率. 其實不同的濾料和不同的濾速容易穿透粒徑是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). www.csxcyb.com 然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實驗.
MPPS是目前嚴(yán)格的試驗標(biāo)準(zhǔn),
具體測試一般采用DOP方法. DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測量粉塵儀器為光度
計, 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子計數(shù)器或凝結(jié)核計數(shù)器對過濾器整個出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗.
| 中國標(biāo)準(zhǔn) | 歐洲標(biāo)準(zhǔn)
EN779-1993 | 美國DOP法
0.3um效率/% | ASHRA標(biāo)準(zhǔn)
計重法效率/% | ASHRAE標(biāo)準(zhǔn)
比色法效率/% | | 粗效過濾器 | G1 | | < 65 | | | 粗效過濾器 | G2 | | 65-80 | | | 粗效過濾器 | G3 | | 80-90 | | | 中效過濾器 | G4 | | >=90 | | | 中效過濾器 | F5 | | | 40-60 | | 高中效過濾器 | F6 | 20-25 | | 60-80 | | 高中效過濾器 | F7 | 55-60 | | 80-90 | | 高中效過濾器 | F8 | 65-70 | | 90-95 | | 高中效過濾器 | F9 | 75-80 | | >=95 | | 亞高效過濾器 | H10 | > 85 | | | | 亞高效過濾器 | H11 | > 98 | | | | 高效過濾器A | H12 | > 99.9 | | | | 高效過濾器A | H13 | > 99.97 | | | | 高效過濾器B | H14 | > 99.997 | | | | 高效過濾器C | U15 | > 99.9997 | | | | 高效過濾器D | U16 | > 99.99997 | | | | 高效過濾器D | U17 | > 99.999997 | | |
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敏感元器件靜電壓標(biāo)準(zhǔn) HBM模式(人體模式) ESD STM5.1-1998 | 級別 | 靜電壓范圍 | | Class 0 | < 250V | | Class 1A | 250-<500V | | Class 1B | 500-<1,000V | | Class 1C | 1,000-<2,000V | | Class 2 | 2,000-<4,000V | | Class 3A | 4000-<8,000V | | Class 3B | >=8,000V |
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MM模式(機(jī)器模式) ESD STM5.2-1999 | 級別 | 靜電壓范圍 | | Class M1 | < 100V | | Class M2 | 100-<200V | | Class M3 | 200-<400V | | Class M4 | >=400V |
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CDM模式( 放電模式) ESD STM5.3.1-1999 級別 | 靜電壓范圍 | | Class C1 | < 125V | | Class C2 | 125-<250V | | Class C3 | 250-<500V | | Class C4 | 500-<1,000V | | Class C5 | 1,000-<1,500V | | Class C6 | 1,500-<2,000V | | Class C7 | >=2,000V |
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